Создание установки для печати микрочипов
«Резиденты ОЭЗ Москвы участвуют в проекте по созданию технологии и разработке установки-литографа – уникального оборудования для производства микросхем. Научные работы по проекту проходят на базе НИУ МИЭТ при участии одной известной компании из Зеленограда. Производственные мощности кластера микроэлектроники столичной ОЭЗ будут задействованы для изготовления необходимых проекту образцов» ̶ рассказал Владислав Овчинский.
Установка сможет использоваться для производства чипов топологических размеров от 28 нанометров и ниже на базе российских синхротронов и плазменных источников излучения. Ученые МИЭТ в кооперации с резидентами ОЭЗ Москвы сегодня изучают возможность реализации технологии.
По словам проректора по научной работе МИЭТ Сергея Гаврилова, если эта работа завершится успешно, за ней последует опытно-конструкторский проект по созданию литографической установки.