Недостатки химико-механического полирования в электронике

21.02.2022
Недостатки химико-механического полирования в электронике
Недостатки существующих методов химико-механического полирования и варианты решений. Почему классические существующие методы химико-механического полирования показывают низкую эффективность и какие технологии способны вытеснить их?

Химико-механическое полирование поверхностей - одна из обязательных процедур, к которым производители прибегают в процессе изготовления деталей или конечных изделий в самых разных промышленных и технологических сферах.

Данная процедура чаще всего проводится с использованием композиций на основе кристаллических частиц для получения идеальных зеркально гладких поверхностей при производстве микросхем и микропроцессоров, комплектующих для электроники, в оптике и машиностроении.

Однако распространенные существующие методы химико-механического полирования сопряжены с большим количеством недостатков, которые негативно сказываются на качестве и свойствах конечной продукции.

Недостаток 1. Отсутствие универсальности
Существующие композиции на основе кристаллических частиц необходимо подбирать индивидуально под каждую обрабатываемую поверхность.

Недостаток 2. Низкое качество
После обработки существующими композициями на основе кристаллических частиц на поверхности материалов остаются сколы и трещины, видимые под микроскопом. Невозможность получения суб-нано- шероховатой зеркально гладкой поверхности материалов без царапин и дефектов на наноуровне.

Недостаток 3. Высокий процент брака
В процессе классических методов химико-механического полирования существуют риски эрозии поверхностей материалов, что ведет к порче конечного изделия.

Это лишь часть из целого списка существенных проблем и сложностей, с которыми сталкиваются предприятия во время химико-механического полирования изделий на производстве.

Отрадно, что в настоящее время российские разработчики предлагают инновационные технологии, решающие практически все вышеописанные проблемы. Одну из таких технологий предлагает АЕМ Технолоджис, резидент Сколково и Фонда содействия инновациям.

АЕМ Технолоджис представили композицию на основе аморфных частиц, способную устранять даже нано-дефекты и царапины на твердых, мягких, инертных, водорастворимых поверхностях материалов.

Аналитики и специалисты отрасли подчеркивают, что в ближайшее время химико-механическое полирование на основе аморфных частиц, которой занимается АЕМ Технолоджис, способно вытеснить устаревшие подходы полирования кристаллическими частицами.

Похожие статьи